長興開發科技股份有限公司

 

長興開發科技自 1996 年開始 CMP 研磨液之產品研發,投入大量的人力及心血,經過持續不斷的改進及與客戶間的緊密配合,終於成為台灣第一家登上全球主要C M P slurry 供應商的舞台。目前產品提供給各國內外 IC 及 LCD 大廠用於產品生產。

CMP銅製程  
 

銅製程用研磨液:
EPL 2361, EPL2362, EPL3000 series, 採用 colloidal silica 為研磨顆粒,精準控制之生產過程確保研磨液於產品生產上的高良率。

銅製程研磨墊清潔液:
EPL 8151 能有效活化並清潔銅製程中研磨墊表面,增強研磨墊的使用壽命。

銅製程後 post cleaning solution :
EPL 8153 提供良好的晶圓表面清洗效果,並可有效的降低相關製程使用之成本。

Color filter polish
EPL 301series 能有效的消除黃光製程中造成的表面缺陷。

BTA
EPLB10 series 對於抑制銅膜氧化的生成有很好的效果,目前普遍的提供國內半導體的客戶使用。

3M CUNO filter
可針對CMP slurry、 DI water及 Chemical 提供精密過濾要求之產品, 同時本公司可提供相關濾液分析服務。

特殊應用
本公司亦可配合客戶之特殊應用需求,開發客製化之產品。


如您對產品有需要更進一步的資料。
請連絡 E-MAIL: samuel_huang@epocheternal.com